一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架
基本信息
| 申请号 | CN202122089984.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215735451U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215735451U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | H05K7/18（2006.01）I;H01J37/02（2006.01）I;H01J37/305（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 朱燕 | 申请（专利权）人 | 南通通州东大机械有限公司 |
| 代理机构 | 北京智行阳光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 谭波 |
| 地址 | 226361江苏省南通市通州区平东镇工业园区西环路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架，包括刻蚀机本体，还包括：移动框，所述移动框设置于刻蚀机本体的下方，所述移动框的外表面设置有万向轮，所述移动框的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内表面滑动连接有滑杆，所述滑杆的顶部固定连接有支撑板；支撑装置，所述支撑装置设置于移动框的内部，所述支撑装置包括电机，所述电机的外表面与移动框的内部固定连接，所述电机的端部固定连接有第一伞齿轮，所述第一伞齿轮的外表面啮合连接第二伞齿轮，所述第二伞齿轮的顶部固定连接有转动管，所述转动管的内表面开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内表面螺纹连接有螺杆，方便刻蚀机的移动与搬运。 |
