首页/ 南通通州东大机械有限公司/ 专利详情

一种半导体设备专用高精度耐腐防变形机架总成

基本信息

申请号 CN201922039000.3 申请日 -
公开（公告）号 CN210920711U 公开（公告）日 2020-07-03
申请公布号 CN210920711U 申请公布日 2020-07-03
分类号 F16M11/04;F16F15/04 分类 -
发明人 吉学东 申请（专利权）人 南通通州东大机械有限公司
代理机构 郑州芝麻知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 王越
地址 226360 江苏省南通市通州区平东工业园区西环路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体设备专用高精度耐腐防变形机架总成，包括机架以及机架中心处设置第一夹板以及第二夹板，所述第二夹板左侧设置有推板，且推板与第二夹板之间滑动连接有交叉架的顶端，并且推板与第二夹板之间通过压缩弹簧弹性连接，所述推板中心处通过转轴转动连接有转动支杆，且转动支杆顶端滑动连接有滑杆，所述滑杆侧面开设有限位槽，所述第二夹板侧面开设有限位卡，且限位卡与限位槽卡接。本实用新型中，采用了多个距离控制结构，实现了第一夹板与第二夹板之间的距离得到较为精密的控制，采用了推杆防压结构，减少装置受到损坏的可能性。