一种MEMS滤波器和制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110600933.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113292040A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113292040A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 周华芳 | 申请（专利权）人 | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都华风专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张巨箭 |
| 地址 | 610029四川省成都市双流区中国（四川）自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区物联大道88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种MEMS滤波器和制备方法，滤波器包括：衬底；第一反射层，位于所述衬底上方；牺牲层，位于所述第一反射层上，所述牺牲层具有空腔；第二反射层，位于所述牺牲层上，所述第二反射层对应所述空腔位置为具有释放孔的浮桥区域，所述浮桥区域内还具有贯穿第二反射层的环形防破裂梁；所述防破裂梁的上下两面中的其中一面为凹面，另外一面为凸面。本发明的防破裂梁内部是一个工作平面，平行度很好，防破裂梁区域类似一系列微型弹簧，可增强整个浮桥区域的韧性，连接了防破裂梁的两侧浮桥，使得连接上更为牢固，浮桥区域不容易破裂，即不会因为静电力的驱动使得浮桥区域上下浮动造成浮桥区域的破裂。 |
