石墨热场的热屏与气体导流装置
基本信息
| 申请号 | CN200920142768.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201567388U | 公开（公告）日 | 2010-09-01 |
| 申请公布号 | CN201567388U | 申请公布日 | 2010-09-01 |
| 分类号 | C30B15/14(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 马四海;张笑天 | 申请（专利权）人 | 芜湖升阳光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 241100 安徽省芜湖县芜湖机械工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨热场的热屏与气体导流装置，所述的石墨热场的热屏与气体导流装置上设热屏外层(3)和热屏内层(1)，所述的热屏外层(3)与热屏内层(1)之间设有间隙。采用上述技术方案，采用斜面反射角度，使得热辐射的反射率增加；增加了热屏中下部热屏外层与内层的间隙，得以填充石墨碳毡，增加热屏的绝热效果。由20寸传统热封闭式场维持1420°的拉制条件需要每小时耗费70～75kw·h降低至60～65kw·h，节能超过10％；填充2～3层石墨碳毡增加了隔热性能，改变了单晶生长时，晶体的纵向温度梯度，相对传统封闭式热场，拉速增加0.05mm/min。提高了设备生产产能，降低生产成本。 |
