超薄液膜旋离式汽化装置

基本信息

申请号 CN201911421703.0 申请日 -
公开(公告)号 CN110965046A 公开(公告)日 2020-04-07
申请公布号 CN110965046A 申请公布日 2020-04-07
分类号 C23C16/448;C23C16/40;C03C17/245 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 赵年伟;王道德;袁曙光;刘起英;孔繁华;曹涯雁;张永杰;史国华;房振华;连超;李成养 申请(专利权)人 威海中玻新材料技术研发有限公司
代理机构 北京怡丰知识产权代理有限公司 代理人 于振强
地址 264200 山东省威海市临港经济技术开发区草庙子镇棋山路-516-39号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种超薄液膜旋离式汽化装置,其解决了现有汽化装置镀膜气相不均匀,不易彻底汽化,汽化装置大,效率不高的技术问题,其包括筒体、物料预热装置、载气加热装置、混合装置和供热装置,所述筒体的内部设有刮板和刮板支撑端盖及密封盖,支撑端盖内部设有油加热管,所述筒体的前端通过顶部物料进口和侧面载气进口分别与所述物料预热装置和所述载气加热装置相连接,所述筒体的后端通过尾部混合汽出口和筒体进出油口分别与所述前驱体原料混合汽混合装置和供热装置相连接。本发明可广泛应于镀膜玻璃用前驱体原料的超薄液膜汽化。