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一种采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器

基本信息

申请号 CN201910350879.5 申请日 -
公开（公告）号 CN110044511A 公开（公告）日 2019-07-23
申请公布号 CN110044511A 申请公布日 2019-07-23
分类号 G01K7/32 分类 测量；测试;
发明人 林江;高新明;张滨华 申请（专利权）人 哈尔滨华明传感科技有限公司
代理机构 北京艾皮专利代理有限公司 代理人 丁艳侠
地址 150028 黑龙江省哈尔滨市松北区创新一路2727号726室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器，涉及传感器领域；该传感器包括封装体以及位于封装体内的谐振组件，谐振组件由石英晶体制作而成；所述谐振组件为一体式结构，其包括双工字梁底座、支撑框体以及位于支撑框体内的m个梳齿片和n个谐振臂，m和n均为正整数，m＞n，m个梳齿片上金属电极的数量为2n。本发明公开了一种采用非接触电极、能够防止和抑制振臂谐振能量外泄的多振臂长度伸缩模石英温度传感器新结构，摸索一种采用耐高温、耐老化的四层复合金属薄膜的非接触电极的结构，从而最高工作温度可达到300℃以上，并且降低了热迟滞，提高了其长期稳定性。