一种基于光学成像的缺陷检测装置

基本信息

申请号 CN202120218886.2 申请日 -
公开(公告)号 CN214374364U 公开(公告)日 2021-10-08
申请公布号 CN214374364U 申请公布日 2021-10-08
分类号 G01N21/88(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘荣华;曾延安;郑增强;洪志坤;范景洋;王兴刚;欧昌东;张胜森;钟凡;沈亚非;陈凯 申请(专利权)人 武汉精测电子集团股份有限公司
代理机构 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 代理人 雷霄
地址 430205湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路22号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于光学成像的缺陷检测装置。该装置包括:多光谱光源、滤光调节单元、偏振调节单元、入射角调节单元、反射角调节单元和相机,所述滤光调节单元和所述偏振调节单元被设置在所述多光谱光源的发射光到达待检测产品的入射光路上,所述相机被设置在所述多光谱光源的发射光到达所述待检测产品后的反射光路上;所述相机用于分别采集所述滤光调节单元、所述偏振调节单元、所述入射角调节单元和所述反射角调节单元处于不同状态时所述待检测产品的图像。本实用新型的装置结构简单,成本低,灵活性好,可以快速分析确定最优成像方案,实现高可靠度的工业质检场景需要。