一种晶圆测试探针设备
基本信息
| 申请号 | CN202121867532.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216900623U | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN216900623U | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | G01R1/04（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄晓辉;周永昌;董琪琪 | 申请（专利权）人 | 飞锃半导体（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海申新律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 200120上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于晶圆领域，具体的说是一种晶圆测试探针设备，包括操作机构，所述操作机构包括驱动机构，所述驱动机构的输出轴通过联轴器固定连接有转轴，所述转轴的顶端固定安装有支撑平台，所述支撑平台的顶部固定安装有旋转台，所述旋转台的顶部开设有限位槽；通过操作机构、驱动电机、转轴、支撑平台、旋转台和限位槽的配合安装，实现了便于旋转限位的功能，在使用过程中，可通过驱动电机带动转轴而产生的电流，对旋转台上方的晶圆进行旋转，使得该旋转台上的晶圆各个角落都能够检测到，而限位槽的设置，可以对圆晶进行限位，使得该圆晶能够不易移位，解决了一般测试探针设备不便于旋转的问题，提高了测试探针设备的效率。 |
