一种晶圆清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202121869686.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216902806U | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN216902806U | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;B08B5/02（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄晓辉;周永昌;董琪琪 | 申请（专利权）人 | 飞锃半导体（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海申新律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 200120上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于晶圆领域，具体的说是一种晶圆清洗设备，包括支撑板，所述支撑板的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有转轴，所述转轴的顶端固定安装有旋转平台，所述固定机构包括连接板，所述连接板的外壁固定安装有电动伸缩套杆；通过固定机构、连接板、电动伸缩套杆、固定槽、连接块、支撑块、伸缩弹簧和防护垫的配合安装，实现了便于伸缩便于防护晶圆的功能，在使用过程中，该电动伸缩套杆向内侧伸缩，达到对晶圆进行夹持固定，而防护垫的设置，可以对晶圆进行防护，避免该电动伸缩套杆过硬，而容易对晶圆造成损坏，而解决了一般清洗设备不便于固定夹持的问题，提高了清洗设备的效率。 |
