晶硅PERC太阳电池双面钝化方法
基本信息
| 申请号 | CN201910154712.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109888057A | 公开（公告）日 | 2019-06-14 |
| 申请公布号 | CN109888057A | 申请公布日 | 2019-06-14 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I; B82Y30/00（2011.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘娟 | 申请（专利权）人 | 江苏润阳新能源科技股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种PERC晶硅太阳能电池片双面钝化方法，涉及太阳能电池制造领域，该晶体硅片经过制绒、扩散、刻蚀抛光和氧化工艺，其特征在于，该方法包括：钝化时，于该晶体硅片的双面镀AlOX薄膜，AlOX薄膜对该晶体硅片进行表面钝化，再于该AlOX薄膜上镀SiOX薄膜。其中，该AlOX厚度范围为2‑10nm，SiOX薄膜厚度为2‑5nm，本发明提高了氧化铝钝化效果，钝化效果好、晶体硅太阳电池开路电压高，同时有效提高了太阳能光伏电池片的光电转换效率。 |
