一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置

基本信息

申请号	CN201821575825.6	申请日	-
公开（公告）号	CN209148475U	公开（公告）日	2019-07-23
申请公布号	CN209148475U	申请公布日	2019-07-23
分类号	G01N5/04	分类	测量；测试;
发明人	李学峰	申请（专利权）人	江苏润阳新能源科技股份有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及晶硅太阳能电池领域，具体涉及一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置，包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数，利用本实用新型可以方便快捷的获取刻蚀槽内硅片的实时刻蚀减重，方便工艺人员控制产线稳定性，从而改善刻蚀不稳所造成的差异，最终提高良品率，无需专门设置作业人员人工称量，自动化程度高，结果精准，省时省力，工作效率高，具有广阔的应用前景。