光盘生产线溅镀机专用靶材
基本信息
| 申请号 | CN201120521279.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202404895U | 公开（公告）日 | 2012-08-29 |
| 申请公布号 | CN202404895U | 申请公布日 | 2012-08-29 |
| 分类号 | G11B7/26(2006.01)I | 分类 | 信息存储; |
| 发明人 | 刘万学;邹国旗;刘果;徐光 | 申请（专利权）人 | 吉林庆达数码有限公司 |
| 代理机构 | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 | 代理人 | 吉林庆达数码有限公司 |
| 地址 | 136001 吉林省四平市铁东区开发区大路1680号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种光盘生产线溅镀机专用靶材，具体的说是一种外形更适合6.0生产线溅镀机使用的溅镀用靶材,该靶材包括靶材主体，所述的靶材主体的中心加工有锁紧孔，在锁紧孔的上面加工有台阶状的溅镀凹槽面,本实用新型结构更加的合理，使溅镀层更加均匀，盘片的生产质量更高。 |
