刻蚀机防止撞片的检测方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN201910638720.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112242313B | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN112242313B | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈明俊;徐雷;张军 | 申请（专利权）人 | 上海先进半导体制造有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 卢炳琼 |
| 地址 | 200233上海市徐汇区虹漕路385号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种刻蚀机防止撞片的检测方法及系统，刻蚀机包括机台、主工艺腔、出口腔、出口腔内门和出口腔传送手臂，出口腔内门包括一开门电磁阀回路，该回路包括一电压输出引脚。该系统包括探测器、第一辅助继电器，继电器的常闭触点接入开门电磁阀回路。出口腔传送手臂进入主工艺腔前，电压输出引脚输出高电平信号；探测器探测出口腔传送手臂上是否有圆晶片；若是则输出控制信号，接通第一辅助继电器的线圈；断开第一辅助继电器的常闭触点；机台停机。本发明通过探测器探测出口腔传送手臂上是否有圆晶片，为是时断开第一辅助继电器的常闭触点，使内门不能正常打开，从而避免圆晶片撞片、叠片而造成的圆晶片报废，提高产品的成品率。 |
