一种辅助检测治具

基本信息

申请号 CN202122392835.4 申请日 -
公开(公告)号 CN215525581U 公开(公告)日 2022-01-14
申请公布号 CN215525581U 申请公布日 2022-01-14
分类号 G01N21/95(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘帅 申请(专利权)人 浙江美迪凯现代光电有限公司
代理机构 杭州华知专利事务所(普通合伙) 代理人 龙湖浩
地址 317500浙江省台州市温岭市产学研工业园科技大道
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种辅助检测治具,包括安装基板、底座、上盖和检测基板,安装基板上设置有多组安装定位柱,底座上对应设置有一组安装定位孔,每组安装定位柱与安装定位孔配合,底座中心设置有芯片安置台,安装定位孔位置围绕芯片安置台设置,底座上四边角处分别设置有连接柱,上盖上四边角处对应设置有与连接柱配合的连接孔,上盖中心对应设置有芯片安置台,检测基板上设置有安置槽,底座和上盖夹紧晶圆芯片后的侧端与安置槽配合插接。该辅助检测治具装夹晶圆芯片检测方便,可以循环利用;测量数据准确,误差小,产品固定好,不易倾斜;且方便检测人员操作,将原有繁复杂乱的检测方法取缔,节省大量操作时间。