一种扩张机顶盘
基本信息
| 申请号 | CN202021930707.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212587462U | 公开（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申请公布号 | CN212587462U | 申请公布日 | 2021-02-23 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘光辉;李飞 | 申请（专利权）人 | 浙江美迪凯现代光电有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华知专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张德宝 |
| 地址 | 317500浙江省台州市温岭市产学研工业园科技大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶片加工技术领域，尤其涉及一种扩张机顶盘，其特征在于，包括圆盘状的顶盘本体，所述顶盘本体的上盘面呈向上拱起的弧形，所述顶盘本体内部设有呈螺旋状的电热丝，所述电热丝贴附在所述顶盘本体的上盘面的内侧，所述电热丝至少螺旋三圈。通过将顶盘的上盘面设置成稍微向上拱起的弧形，能够避免顶盘偶尔的下凹现象，从而避免膜片上贴附的产品(晶片)变形；将呈螺旋状的电热丝设置成至少螺旋三圈，能够使其在顶盘内分布更加均匀，传热更加均匀，从而使上盘面对膜片加热更加均匀，防止因加热不均而导致膜片扩张变形。 |
