一种基片固定夹具
基本信息
| 申请号 | CN202022003551.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213013080U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213013080U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李涛 | 申请（专利权）人 | 浙江美迪凯现代光电有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华知专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张德宝 |
| 地址 | 317500浙江省台州市温岭市产学研工业园科技大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及基片加工技术领域，尤其涉及一种基片固定夹具，其特征是，包括两块相契合的夹板和用于将两块夹板固定的磁铁，两块所述的夹板均呈闭合的边框状，且所述夹板的内侧向内延伸出用于放置、夹持基片的内沿，所述内沿低于夹板设置；所述夹板上表面开设有与所述内沿连通的排水槽；两块所述的夹板均为树脂材质；其中一块所述的夹板上设有至少两个定位柱，另一块所述的夹板上开设有与定位柱相对应的定位通孔，所述磁铁通过相互之间的吸引力对两块夹板进行夹持、固定。本夹具通过两块夹板对基片进行夹持、固定，固定过程简单；排水槽能够及时排出夹具中基片上的水渍；借助磁石能够将固定有基片的夹板吸附固定在铁质框架上，方便溅射镀膜。 |
