一种镀膜夹具
基本信息
| 申请号 | CN202121879215.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215251150U | 公开（公告）日 | 2021-12-21 |
| 申请公布号 | CN215251150U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王刚;叶炜昊 | 申请（专利权）人 | 浙江美迪凯现代光电有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华知专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 龙湖浩 |
| 地址 | 317500浙江省台州市温岭市产学研工业园科技大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种镀膜夹具，包括底座，底座底部设置有连接机台的对位孔、凸台和卡槽，底座上部开设有基板座槽，基板座槽内壁上沿圆周均匀设置有对位凸起，基板座槽内安置有基板座，基板座外对应对位凸起设置有对位口，基板座上表面开设有基板槽，基板槽内边缘设置有一圈台阶面，基板槽内安置基板，台阶面撑起基板。该镀膜夹具通过底座上设置基板座槽和对应基板座配合，需要针对不同尺寸的基板进行镀膜时只需要更换对应基板座，方便快捷，更换成本低，节约成本。同时基板槽内边缘设置有一圈台阶面，基板槽内安置基板，台阶面撑起基板，让片不与底座进行直接接触，减少划痕和尘埃颗粒对基板的影响。 |
