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一种液晶玻璃基板减薄蚀刻设备

基本信息

申请号 CN202110371271.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113233780A 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN113233780A 申请公布日 2021-08-10
分类号 C03C15/00 分类 玻璃；矿棉或渣棉;
发明人 王伟 申请（专利权）人 合肥京东方半导体有限公司
代理机构 合肥律众知识产权代理有限公司 代理人 练兰英
地址 230000 安徽省合肥市新站区工业园内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种液晶玻璃基板减薄蚀刻设备，包括用于安装玻璃基板的安装装置和用于喷淋蚀刻液的喷淋装置，安装装置包括相对设置的中枢端和自由端，自由端以中枢端为轴旋转，改变置于安装装置上的玻璃基板的倾斜角度，喷淋装置设置在倾斜的玻璃基板上端的上部位置，由倾斜的玻璃基板上端向玻璃基板上均匀喷淋蚀刻液；本发明液晶玻璃基板减薄蚀刻设备，通过将液晶玻璃基板进行倾斜，一方面可以实现对液晶玻璃基板一面进行减薄，另一方面使得蚀刻液在液晶玻璃基板表面流动，冲洗反应产生的白色粉末状沉淀等，提高减薄后液晶玻璃基板表面质量。