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一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置

基本信息

申请号 CN202120747467.8 申请日 -
公开（公告）号 CN214528730U 公开（公告）日 2021-10-29
申请公布号 CN214528730U 申请公布日 2021-10-29
分类号 C03C15/00（2006.01）I 分类 玻璃；矿棉或渣棉;
发明人 王伟 申请（专利权）人 合肥京东方半导体有限公司
代理机构 合肥律众知识产权代理有限公司 代理人 练兰英
地址 230000安徽省合肥市新站区工业园内
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及玻璃基板加工技术领域，具体涉及一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置，包括底板和伺服电机，所述底板上设置有可沿水平方向往复移动的支撑板，所述支撑板上设置有用于吸附玻璃基板的真空吸盘，且所述真空吸盘与转动板连接后可进行一定角度的翻转，所述底板上与所述伺服电机相对的一端还设置有防溅罩以及两个支撑杆。本实用新型中，通过将刻蚀液的喷淋以及后续的清洗、连同清洗后玻璃基板的烘干，从而将整个玻璃基板的减薄工艺内缩在一个设备内进行处理，提高了加工效率的同时也降低了多个工序之间进行配合所存在的误差，降低了体力劳动的消耗。