一种异质结太阳能电池的制备方法

基本信息

申请号 CN202011595645.6 申请日 -
公开(公告)号 CN112701194A 公开(公告)日 2021-04-23
申请公布号 CN112701194A 申请公布日 2021-04-23
分类号 H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/072(2012.01)I;H01L31/20(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨骥;黄金;王继磊;白焱辉;鲍少娟;冯乐;任法渊;杨文亮;师海峰;杜凯 申请(专利权)人 晋能清洁能源科技股份公司
代理机构 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 赵徐平
地址 033000山西省吕梁市文水县经济开发区1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种异质结太阳能电池,包括:硅层衬底,依次设置在所述硅层衬底正面的第一本征非晶硅层、第一非晶硅膜层、第一导电膜层和第一金属电极;以及依次设置在所述硅层衬底背面的第二本征非晶硅层、第二非晶硅膜层、第二导电膜层和第二金属电极;其中,所述第一导电膜层与第二导电膜层工艺采用不同的氧氩比。本发明制备工艺在原有工艺的基础上,对正面和背面的导电膜层采用不同的镀膜工艺,通过本发明制备工艺制备出的太阳能电池,既不影响其余性能,同时可将电池正面膜层的载流子迁移率提升,从而提升电池片的短路电流,将电池背面膜层的方块电阻降低,从而获得高的填充因子,从而带来效率的提升,具有深远的市场发展前景。