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一种基于光学平台罩箱用的承载台

基本信息

申请号 CN201922143953.4 申请日 -
公开（公告）号 CN211563032U 公开（公告）日 2020-09-25
申请公布号 CN211563032U 申请公布日 2020-09-25
分类号 B01L9/02(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 谢国平;王秋桃;郑岑 申请（专利权）人 泰州炬昕微电子有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 225300江苏省泰州市海陵区凤凰东路76号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于光学平台罩箱用的承载台，包括支撑腿、蜂窝芯、罩箱和冷却支撑架，所述支撑腿顶部通过焊接固定连接有底板，所述底板底部内壁通过焊接固定连接有蜂窝芯，本实用新型通过设置的冷却支撑架以及循环冷却水管，实现了在光学平台上罩箱用的承载台使用时，罩箱内的仪器产生的热量通过热传导传递给顶板上，顶板热量传递给冷却支撑架，通过循环冷却水管中冷却水的持续热交换进行吸收，防止仪器热量聚集，从而影响仪器的使用稳定性，同时通过工程螺纹孔落入的灰尘以及水渍通过盛接槽进行盛接，防止灰尘以及水渍进入下方的蜂窝芯中造成腐蚀，需要清洗时只需打开侧开门，抽出盛接槽即可进行冲洗，方便快捷。