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一种等离子体清洗装置

基本信息

申请号 CN201010165134.0 申请日 -
公开（公告）号 CN101837357B 公开（公告）日 2011-10-05
申请公布号 CN101837357B 申请公布日 2011-10-05
分类号 B08B7/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 周骏;林豪;仰明阳;颜飞彪 申请（专利权）人 浙江尧瑶科技有限公司
代理机构 宁波奥圣专利代理事务所（普通合伙） 代理人 程晓明
地址 315000 浙江省宁波市院士路66号创业大厦4-21-1
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种等离子体清洗装置，其主要由微波系统和反应装置组成，微波系统包括微波室、微波源及微波控制电路，通过微波控制电路可对微波源进行调控，实现对产生的等离子体密度的调控；本清洗装置通过采用微波激励的方式，有效地避免了电极污染，同时扩大了压强工作范围；由于微波技术比较成熟，微波泄漏较易控制与防护，因此本清洗装置具有较好的安全性能；通过调控清洗反应气体的流速或真空装置的抽气速度来控制工作压强，通过微波控制电路来控制微波源的功率，可以有效地调节等离子体对清洗样品的表面的轰击力度和等离子体的浓度，从而可根据不同材料类型的清洗样品进行不同方式的清洗及表面改性。