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一种金属纳米颗粒微阵列芯片的制备装置及方法

基本信息

申请号 CN201110378204.5 申请日 -
公开（公告）号 CN102424356A 公开（公告）日 2012-04-25
申请公布号 CN102424356A 申请公布日 2012-04-25
分类号 B81C1/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 周骏;阳明仰;林豪;颜承恩;张琪 申请（专利权）人 浙江尧瑶科技有限公司
代理机构 宁波奥圣专利代理事务所（普通合伙） 代理人 程晓明;周珏
地址 315000 浙江省宁波市高新区院士路66号创业大厦4-21-1
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种金属纳米颗粒微阵列芯片的制备装置及方法，该制备装置包括激光器、电控开关、空间滤波器、光束整形系统、反射镜、聚焦物镜、样品夹、精密电控三维位移平台和观察屏，该制备方法的步骤为：首先制备含有金属纳米粒子颗粒和聚合物材料的复合溶胶，然后将复合溶胶旋涂于衬底基片上，再烘干、固化得到含金属纳米粒子颗粒的复合胶体薄膜，最后将复合胶体薄膜与衬底基片组成的样品置于制备装置下进行激光刻蚀得到金属纳米颗粒微阵列芯片，利用本发明方法制得的金属纳米颗粒微阵列芯片的点阵图案分布均匀，金属纳米颗粒微阵列单元的轮廓清晰，形状规则，单元点的大小和分布易于控制和调整，且本发明方法工艺简单、成本低廉、易于推广。