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一种多功能半导体器件

基本信息

申请号 CN201711422166.2 申请日 -
公开（公告）号 CN108088877B 公开（公告）日 2020-05-01
申请公布号 CN108088877B 申请公布日 2020-05-01
分类号 G01N27/22 分类 测量；测试;
发明人 胡静 申请（专利权）人 佛山市车品匠汽车用品有限公司
代理机构 北京瑞盛铭杰知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 江西省吉晶微电子有限公司
地址 343000 江西省吉安市井冈山经济技术开发区南塘路268号6幢厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种多功能半导体器件，包括：硅基底，其具有一由刻蚀形成的凹槽；第一绝缘层，其形成在凹槽的底面；金属层，形成在第一绝缘层的上表面；第二绝缘层，形成在金属层的上表面；阵列气体传感器，形成在第二绝缘层的上表面，并以阵列的方式排布在第二绝缘层的上表面处；导电触点，布置在金属层上，并延伸至第二绝缘层的上表面，以将阵列气体传感器与外电路连接；形成在阵列气体传感器上部的气隙，是在阵列气体传感器上部的牺牲层去除之后形成的；形成在气隙中的支撑柱；和金属盖层，形成在支撑柱的上部，且在盖层处具有至少一个通气孔，用于将气体引入气隙内，进而与阵列气体传感器接触；其中，金属层和金属盖层作为电容器的两个电极。