晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构

基本信息

申请号 CN200910057364.2 申请日 -
公开(公告)号 CN101905434B 公开(公告)日 2012-07-25
申请公布号 CN101905434B 申请公布日 2012-07-25
分类号 B24B7/22(2006.01)I;B24B37/04(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;H01L21/304(2006.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 卢建伟 申请(专利权)人 昭进半导体设备(上海)有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 201718 上海市青浦区金泽镇金鹰南路1号5-7幢厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构,包括可转动台面、中心转轴、及法兰,所述法兰周缘具有至少三个均匀分布的第一螺孔,所述可转动台面具有对应所述第一螺孔的第二螺孔,其主要包括旋设于所述第一螺孔的微调空心螺丝、用以对所述微调空心螺丝调节的空心螺帽,位于所述微调空心螺丝与所述可转动台面之间的球面垫圈及球面垫座,以及将所述空心螺帽、微调空心螺丝、球面垫圈及球面垫座锁固的紧固螺栓,本发明与现有技术相比,微调元件和锁固元件之间相互独立,且采用了球面垫座及球面垫圈结构,不但使调节操作变得容易,还解决了现有技术中靠螺丝旋进旋出调节而引起的不精确及不牢固的问题。