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晶圆背磨机的磨头调节机构

基本信息

申请号	CN200920211038.8	申请日	-
公开（公告）号	CN201559119U	公开（公告）日	2010-08-25
申请公布号	CN201559119U	申请公布日	2010-08-25
分类号	B24B37/04(2006.01)I	分类	磨削；抛光;
发明人	卢建伟	申请（专利权）人	昭进半导体设备（上海）有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	201718 上海市青浦区金泽镇金鹰南路1号5-7幢厂房
法律状态	-

摘要

本实用新型提供一种晶圆背磨机的磨头调节机构，用以对所述磨头的前、后，左、右倾斜角度进行调整，所述调节机构至少包括有第一拖板、活动结合于所述第一拖板的第二拖板、及活动结合于所述第二拖板的磨头座，其重点是藉由所述垂向斜块的倾斜面抵触所述纵向圆轴的弧面，以使所述垂向斜块的倾斜面垂向运动时迫使所述纵向圆轴于横向活动，进而带动所述磨头座绕轴心前顷或后仰调整，以及藉由第一螺孔板及第二螺孔板与纵向调整件的结合，利用螺纹的螺距差值达到精确的左、右倾斜角度调整，与现有技术相比，本实用新型不但便于调节操作，而且还可以达成二维空间的精确调节，进而解决了现有技术中调节操作极为不便，费时费力而降低了工作效率等诸多缺点。