晶圆背磨机的悬浮式可转动工作台
基本信息
| 申请号 | CN200920211040.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201552497U | 公开（公告）日 | 2010-08-18 |
| 申请公布号 | CN201552497U | 申请公布日 | 2010-08-18 |
| 分类号 | B24B37/04(2006.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 卢建伟 | 申请（专利权）人 | 昭进半导体设备（上海）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201718 上海市青浦区金泽镇金鹰南路1号5-7幢厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种晶圆背磨机的悬浮式可转动工作台，包括机座、中心转轴、以及藉由所述中心转轴可转动地设置于所述机座上的可转动台面，其中，所述机座与所述可转动台面之间均匀布设有多个气动元件，所述气动元件经加压后以产生推力将所述可转动台面升起，使所述可转动台面呈悬浮状态，并于转动时实现零摩擦，以此用于解决现有技术中需要在可转动台面与机座之间添加润滑油而造成的晶圆污染问题。 |
