首页/ 苏州中世太新能源科技有限公司/ 专利详情

一种高温臭氧氧化装置

基本信息

申请号 CN202022706143.8 申请日 -
公开（公告）号 CN213401112U 公开（公告）日 2021-06-08
申请公布号 CN213401112U 申请公布日 2021-06-08
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 王振交;艾凡凡;韩培育 申请（专利权）人 苏州中世太新能源科技有限公司
代理机构 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 代理人 许益民
地址 215121 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号天裕工业园5栋208室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种高温臭氧氧化装置，该装置用以对硅片表面进行氧化，包括壳体、传送组件、加热组件和氧化组件，传送组件用以支撑并传送硅片，加热组件用以加热硅片，传送组件和加热组件均设置在壳体的内部；氧化组件用以对硅片表面进行氧化，氧化组件包括臭氧发生器、多根臭氧喷淋管和多个紫外光源，臭氧发生器设置在壳体的外部，多根臭氧喷淋管和多个紫外光源设置在壳体内部沿硅片的移动方向位于加热组件后方的位置，多根臭氧喷淋管沿硅片的移动方向依次设置在壳体的顶部，多个紫外光源沿硅片的移动方向依次设置在壳体顶部位于相邻两根臭氧喷淋管中间的位置，多根臭喷淋管均与臭氧发生器连通。