表面具凸纹结构薄膜的曲面基板

基本信息

申请号 CN201821264243.6 申请日 -
公开(公告)号 CN209014905U 公开(公告)日 2019-06-21
申请公布号 CN209014905U 申请公布日 2019-06-21
分类号 G03F7/09(2006.01)I; G03F7/11(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 翁沛喜; 许铭案 申请(专利权)人 重庆恒渝电子材料有限公司
代理机构 北京汇泽知识产权代理有限公司 代理人 许铭案; 翁沛喜
地址 402760 重庆市璧山区璧泉街道双星大道8号(自主承诺)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及曲面基板制造技术领域,具体公开了一种表面具凸纹结构薄膜的曲面基板,其包括:一曲面基板,该曲面基板的表面具有一凸纹结构薄膜,且该凸纹结构薄膜的图案的解析度介于0.1‑100微米(um)之间。本实用新型提供的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板,运用激光直写影像技术(Laser Direct Imaging,LDI)与光阻制程,来解决过去运用光阻制程需要光罩的问题,实现无须光罩、制程简单、解析度高、低成本的特殊技术功效。