一种镀膜机坩埚线圈
基本信息
| 申请号 | CN202121633278.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215976011U | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN215976011U | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | C23C14/26（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴光淦;杜蔚遥 | 申请（专利权）人 | 安徽省通达新材料有限公司 |
| 代理机构 | 合肥正则元起专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 匡立岭 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市瑶海区龙岗综合经济开发区通达路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种镀膜机坩埚线圈，属于坩埚技术领域。该镀膜机坩埚线圈，包括坩埚，所述坩埚的外侧设置有线圈，所述线圈的一端固定有感应加热电源，所述线圈的下方设置有固定座，所述固定座的中部设置有底座，所述底座的上方与坩埚的下表面固定连接，所述底座内设置有限位机构。通过使用直径更大的线圈，可以放入更大的坩埚，使得加工效率更高；通过使用中频变压器，可以提高输出电流的能力，防止铝液产生涡流，使产品的蒸发量不够，影响产品的质量。通过设置限位弹簧从而实现了在限位弹簧的伸缩回位作用下拉动卡杆移动插接在凹槽内，实现了固定座和底座的卡紧。 |
