一种新型的精密冷镜露点仪及其气路集成模块

基本信息

申请号 CN201510995623.1 申请日 -
公开(公告)号 CN105466969B 公开(公告)日 2018-09-18
申请公布号 CN105466969B 申请公布日 2018-09-18
分类号 G01N25/68 分类 测量;测试;
发明人 高之斌;刘智刚 申请(专利权)人 天津市泓诚泰科技发展有限公司
代理机构 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 代理人 杨慧玲
地址 301800 天津市宝坻区进京路28号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种新型的精密冷镜露点仪及其气路集成模块,气路集成模块包括一气路块本体,在气路块本体内部开有各个方向的孔道;还固定有气路接头、排气接头、电磁阀和流量传感器。气路集成模块具有体积小巧、各个单元间气路连接可靠、气路装配简单及装配效率高的特点;采用此气路集成模块的冷镜露点仪,可缩小整个冷镜露点仪的外形尺寸,减轻冷镜露点仪装置重量,使冷镜露点仪便于携带,提高冷镜露点仪测量湿度的可靠性。