一种pvd镀膜厚度调节控制装置
基本信息
| 申请号 | CN202122093024.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215799870U | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN215799870U | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郭维伟 | 申请（专利权）人 | 南京准非晶真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京喆翙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 马婷 |
| 地址 | 210000江苏省南京市玄武区锁金一村5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种pvd镀膜厚度调节控制装置，涉及一种通过旋转速度变化，控制镀膜厚度的调节控制装置，属于材料加工领域。提供的一种通过控制电极辊回转速度，进行镀膜厚度调节的镀膜调剂控制结构，包括主体固定装置、镀膜调节装置，主体固定装置包括箱体、隔板、放置台、连通管、保持架、驱动轴，隔板置于箱体内顶面，放置台置于箱体内底面且位于隔板正下方，保持架通过驱动轴置于箱体内，两个连通管置于箱体上，连通管分别位于隔板两侧，且对应和隔板两侧的区域连通，镀膜调节装置包括金属垫板、导线、靶材、铜辊、磁铁、冷却管、电极辊、端部密封条，能够连续滚动镀膜，通过旋转速度进行镀膜厚度的控制。 |
