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一种pvd膜检测装置

基本信息

申请号	CN202122088661.2	申请日	-
公开（公告）号	CN216411015U	公开（公告）日	2022-04-29
申请公布号	CN216411015U	申请公布日	2022-04-29
分类号	G01N17/00（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	郭维伟	申请（专利权）人	南京准非晶真空技术有限公司
代理机构	深圳紫晴专利代理事务所（普通合伙）	代理人	陈映辉
地址	210000江苏省南京市玄武区锁金一村5号
法律状态	-

摘要

本实用新型提供一种pvd膜检测装置，涉及一种能够对pvd膜进行盐雾试验检测的装置，属于材料工程领域。提供的一种通过将多个试样的沉积面密封贴合，通过内部的循环系统，配合盐雾进行沉积面位置的pvd膜盐雾试验的检测的装置，包括主体固定装置、雾化装置、试样放置装置，所述固定装置包括主体箱、底座、中部隔板、进液管、排液管、内箱体、箱盖、控制柜、压力控制箱，主体箱置于底座上，压力控制箱置于底座上，且位于主体箱一侧，控制柜置于压力控制箱上，箱盖盖合置于主体箱上，内箱体置于主体箱内，中部隔板置于内箱体和主体箱之间，内箱体和中部隔板之间通过连接板连接，能够仅针对覆膜面进行盐雾试验，且能够同步进行多组试样的试验。