首页/ 苏州纳迪微电子有限公司/ 专利详情

新型氮化炉装置

基本信息

申请号 CN202121288498.8 申请日 -
公开（公告）号 CN215161033U 公开（公告）日 2021-12-14
申请公布号 CN215161033U 申请公布日 2021-12-14
分类号 C01B21/072（2006.01）I;F27B17/00（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 邹波;邱颢 申请（专利权）人 苏州纳迪微电子有限公司
代理机构 北京化育知识产权代理有限公司 代理人 闫露露
地址 215000江苏省苏州市苏州高新区嵩山路488号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种新型氮化炉装置，包括进气总管、原料仓、反应输送管、集尘器，进气总管的进气端安装进气调节总阀，进气总管的出气端连接原料仓底端，原料仓内安装固气分离机构，原料仓的顶端安装加料斗，原料仓顶端连接反应输送管，反应输送管的出料端连接集尘器的顶部，反应输送管的进料端套设高温管式炉，反应输送管的出料端套设水冷却夹套。本实用新型氮化炉装置利用反应混合气体的流量和压力把原料的高纯度粉体和混合气体送至反应输送管的高温反应区，进行动态氮化反应；反应后的物料经冷却后送至集尘器中，产品在氮气的保护下进行收集和包装，使氮化后的产品达到粉体疏松，不易结块，又能连续、高效、均匀的氮化之目的。