蓝宝石窗口片及其抛光工艺

基本信息

申请号 CN201911342333.1 申请日 -
公开(公告)号 CN110977629A 公开(公告)日 2020-04-10
申请公布号 CN110977629A 申请公布日 2020-04-10
分类号 B24B1/04;B24B49/16;B24B49/00;C30B33/10;C09G1/02 分类 磨削;抛光;
发明人 刘冉;苏小磊;王鑫;陈红飞;王宇湖 申请(专利权)人 苏州纳迪微电子有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 范晴;顾天乐
地址 215000 江苏省苏州市高新区嵩山路488号
法律状态 -

摘要

摘要 一种蓝宝石窗口片抛光工艺,属于蓝宝石窗口片制造技术领域。该蓝宝石窗口片抛光工艺包括以下步骤:浸泡处理:先将经过精磨处理的蓝宝石片浸泡在高温高浓度浓磷酸中,之后取出再浸泡在氢氟酸中;超声抛光:将经过浸泡处理的蓝宝石片放入双面抛光机中,在超声辅助下采用大粒径高pH值的氧化铝抛光液进行抛光,得到蓝宝石窗口片。本发明在提高抛光速率的同时保证了蓝宝石窗口片表面粗糙度的精度要求。