蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉及其制备方法、抛光液
基本信息
申请号 | CN201911356706.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111004582A | 公开(公告)日 | 2020-04-14 |
申请公布号 | CN111004582A | 申请公布日 | 2020-04-14 |
分类号 | C09G1/02(2006.01)I | 分类 | 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用; |
发明人 | 刘冉;朱堂龙;陈红飞;王宇湖 | 申请(专利权)人 | 苏州纳迪微电子有限公司 |
代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 范晴;顾天乐 |
地址 | 215000江苏省苏州市高新区嵩山路488号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉及其制备方法、抛光液,属于蓝宝石抛光技术领域。该蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉的制备方法,包括以下步骤:S1,按重量比例取0.05~0.25mol/L的硫酸铝铵溶液、0.5~5mol/L的碳酸氢铵溶液和分散剂混合均匀,并加入pH调节剂控制pH值在8~12之间,反应温度在20~80℃之间,搅拌20~120min,得到氧化铝前驱体;S2,之后加入正硅酸乙酯,并加入pH调节剂控制pH值在8~12之间,反应温度在20~80℃之间,搅拌20~120min,之后分离,再烘干粉碎,得到硅铝复合物前驱体粉体;S3,向硅铝复合物前驱体粉体中加入煅烧促进剂,然后经过1100~1400℃高温煅烧1~4h,再经后处理制备得到硅铝复合抛光粉。本发明在保证抛光良率的基础上能够提高蓝宝石衬底片的抛光速率。 |
