蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉及其制备方法、抛光液

基本信息

申请号 CN201911356706.0 申请日 -
公开(公告)号 CN111004582A 公开(公告)日 2020-04-14
申请公布号 CN111004582A 申请公布日 2020-04-14
分类号 C09G1/02(2006.01)I 分类 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用;
发明人 刘冉;朱堂龙;陈红飞;王宇湖 申请(专利权)人 苏州纳迪微电子有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 范晴;顾天乐
地址 215000江苏省苏州市高新区嵩山路488号
法律状态 -

摘要

摘要 一种蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉及其制备方法、抛光液,属于蓝宝石抛光技术领域。该蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉的制备方法,包括以下步骤:S1,按重量比例取0.05~0.25mol/L的硫酸铝铵溶液、0.5~5mol/L的碳酸氢铵溶液和分散剂混合均匀,并加入pH调节剂控制pH值在8~12之间,反应温度在20~80℃之间,搅拌20~120min,得到氧化铝前驱体;S2,之后加入正硅酸乙酯,并加入pH调节剂控制pH值在8~12之间,反应温度在20~80℃之间,搅拌20~120min,之后分离,再烘干粉碎,得到硅铝复合物前驱体粉体;S3,向硅铝复合物前驱体粉体中加入煅烧促进剂,然后经过1100~1400℃高温煅烧1~4h,再经后处理制备得到硅铝复合抛光粉。本发明在保证抛光良率的基础上能够提高蓝宝石衬底片的抛光速率。