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石墨抗氧化涂层的制备方法

基本信息

申请号	CN201911348744.1	申请日	-
公开（公告）号	CN110950681B	公开（公告）日	2022-06-10
申请公布号	CN110950681B	申请公布日	2022-06-10
分类号	C23C20/08（2006.01）I;C04B41/87（2006.01）I	分类	水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人	吴永龙;朱堂龙;王振;王宇湖	申请（专利权）人	苏州纳迪微电子有限公司
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	-
地址	215000江苏省苏州市高新区嵩山路488号
法律状态	-

摘要

一种石墨抗氧化涂层的制备方法，属于抗氧化涂层技术领域。该石墨抗氧化涂层的制备方法包括如下步骤：S1，将石墨构件置于硅溶胶中，真空加压浸渍；之后取出并烘干水分；S2，将经步骤S1处理的石墨构件置于惰性气氛保护下，按一定升温制度加热至1400‑1800℃，保温一定时间后降温；S3，按比例混合硅溶胶与碳黑，得到混合浆料；采用混合浆料对经步骤S2制得的石墨构件进行表面喷涂，之后烘干水分；再将石墨构件置于惰性气氛保护下，按一定升温制度加热至1400‑1800℃，保温一定时间后降温，在石墨构件内部及表面均形成致密的抗氧化涂层。本发明使用硅溶胶与碳黑粉体混合制备碳化硅抗氧化涂层，原料便宜，设备简单，工艺可操作性强。