用于金属丝二次质谱深度分析的方法
基本信息
| 申请号 | CN202011598459.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112345623B | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112345623B | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | G01N27/64 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 朱雷;华佑南;李晓旻 | 申请（专利权）人 | 胜科纳米（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京崇智知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵丽娜 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及材料样品检测技术领域，尤其涉及用于金属丝二次质谱深度分析的方法，包括以下步骤：准备基板，所述基板沿其长度刻蚀有与所述金属丝相适的凹槽；沿所述凹槽的长度将所述金属丝放入所述凹槽内，并将所述金属丝在所述凹槽内固定；所述基板放置在二次离子质谱仪样品台进行测试；所述金属丝的直径为微米级。本发明通过在基板上设置凹槽，以便辅助金属丝和质谱仪探头之间形成类平面结构，这样再进行二次离子质谱仪检测，得到的图谱中主元素层清晰分出，也同时最大减低界面混合效应。 |
