一种用于动态二次离子质谱(D-SIMS)分析的样品制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于动态二次离子质谱(D-SIMS)分析的样品制备方法

基本信息

申请号	CN202011030777.4	申请日	-
公开（公告）号	CN112229699A	公开（公告）日	2021-01-15
申请公布号	CN112229699A	申请公布日	2021-01-15
分类号	G01N1/36(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	刘嘉辉;徐欢;朱雷;赵弇斐;郑海鹏;华佑南;李晓旻	申请（专利权）人	胜科纳米（苏州）股份有限公司
代理机构	北京崇智知识产权代理有限公司	代理人	赵丽娜
地址	215123江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区9栋507室
法律状态	-

摘要

本发明涉及动态二次离子质谱(D‑SIMS)分析技术领域，提出了一种有关小样品的特别制备方法，特别适用于测试面边长不大于200μm的待测样品，制备方法如下：将胶带贴在平整的载体上；模具两端开口，一端开口部分折叠模具材料粘贴到胶带上，通过另一端开口放入待测样品以及铸模材料，待测样品的测试面黏附在胶带上，得到载体材料；对载体材料加热，加热温度不小于铸模材料的熔点；铸模材料熔化后，液态的铸模材料的高度高于待测样品的高度，加热完成后，压实，去除模具；去除载体以及胶带，得到待测样品镶嵌于铸模材料中，制样完成。用该方法制备样品，制样成功率高，分析的准确度和精度也大大提高，并且克服了以往制样D‑SIMS分析结果不准确且易引入污染的问题。