封装器件水汽入侵路径检测方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202210164278.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114216954A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114216954A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G01N27/62（2021.01）I;G01N15/08（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 廖金枝;朱雷;张兮;乔明胜;华佑南;李晓旻 | 申请（专利权）人 | 胜科纳米（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 刘臣刚 |
| 地址 | 215124江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种封装器件水汽入侵路径检测方法及装置，该方法包括：基于预设示踪剂对待测封装器件进行水汽示踪标记，获取示踪标记样品；对所述示踪标记样品进行二次离子质谱分析，获取示踪标记样品的示踪剂强度；根据所述示踪剂强度确定水汽入侵的路径和速度。本发明通过预设示踪剂与二次离子质谱结合，对封装器件的水汽入侵路径及速度进行检测，有利于提高水汽入侵的动态检测精度，从根本上提升封装器件的防潮可靠性。 |
