制备非导电性材料样品的方法
基本信息
| 申请号 | CN201810939776.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109001240B | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN109001240B | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | G01N23/2202;G01N23/203;G01N23/2005 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 廖金枝;张兮;张南;华佑南;李晓旻 | 申请（专利权）人 | 胜科纳米（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱琳 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种制备非导电性材料样品的方法，在样品表面镀膜后，在待观测区域作相应的减薄，此时，镶嵌材料表面是镀有导电材料的，在材料表面形成一个有效的电子通路，即在样品台和镶嵌材料表面有导电通路，使得后面的入射电子不能在材料表面会聚，而影响信号的收集。本发明所使用的方法简单、快速、有效的解决了现有的非导电性材料在SEM/EBSD检测过程中而产生的电子积聚，或者由于导电镀膜过厚而影响到信号(如背反射电子)的收集问题。 |
