一种用于SCM截面样品无损定位的方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202111402403.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114088982A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114088982A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | G01Q60/46（2010.01）I;G01Q30/20（2010.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨慧;刘凌霄;左瑞涛;乔明胜;李晓旻 | 申请（专利权）人 | 胜科纳米（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京崇智知识产权代理有限公司 | 代理人 | 马良 |
| 地址 | 215124江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城9栋507室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种用于SCM截面样品无损定位的方法，包括：标记待测样品，并根据所述标记确定待测截面位置；用透明封装材料封装所述待测样品；去除部分所述待测样品及部分所述透明封装，并露出所述待测截面；当所述待测截面为目标待测截面时，确定待测点；在与所述待测点位于同一平面的所述封装上设定坐标原点，并确定所述待测原点与所述坐标原点之间的相对位置坐标；根据所述相对位置坐标在扫描电容显微镜样品台上测试所述待测点。本申请专利提出的方法降低了样品的制备难度，保护了样品的完整性，提高了定位的准确度。本申请方法具有操作简单、适用范围广、测试结果准确的优点。 |
