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一种原位力学性能测试装置及其设备

基本信息

申请号	CN202120415065.8	申请日	-
公开（公告）号	CN215492787U	公开（公告）日	2022-01-11
申请公布号	CN215492787U	申请公布日	2022-01-11
分类号	G01N3/00（2006.01）I;G01N23/2251（2018.01）I;G01N23/2255（2018.01）I	分类	测量；测试;
发明人	李晓旻;刘兵海;傅超;陈汉杰;张兮;华佑南;乔明胜	申请（专利权）人	胜科纳米（苏州）股份有限公司
代理机构	北京崇智知识产权代理有限公司	代理人	赵丽娜
地址	215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及材料力学性能测试设备技术领域，尤其涉及一种原位力学性能测试装置及其设备。原位力学性能测试装置包括底座、连接杆、测试探头、控制系统以及压力测试系统；底座用于与商业化的材料分析测试设备封连接；连接杆包括依次连接的第一连接杆和第二连接杆，第一连接杆的自由端与底座连接，第二连接杆的自由端与测试探头连接；控制系统控制连接杆的运动；压力测试系统用于控制和量测测试探头的施加应力。本实用新型提供的原位力学性能测试装置和现有商业化的商业化的材料分析测试设备相匹配，其方式可以是通过SEM、FIB上现有的接口直接插入，然后进行真空密封实现系统集成；在不使用的时候可以抽出，不会对SEM和FIB正常使用造成影响。