一种背面预蚀凸点式封装结构的封装工艺

基本信息

申请号 CN202110888974.8 申请日 -
公开(公告)号 CN113471154A 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN113471154A 申请公布日 2021-10-01
分类号 H01L23/31(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H05K1/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 吴奇斌;吴莹莹;李华 申请(专利权)人 江苏尊阳电子科技有限公司
代理机构 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 代理人 周青
地址 214421江苏省无锡市江阴市华士镇向阳村环村东路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种背面预蚀凸点式封装结构的封装工艺,本发明在金属基板的正面和背面同时进行化学蚀刻,背面位置可与正面蚀刻位置错开,背面蚀刻形状与尺寸不受限制,因此可以根据产品需要在背面蚀刻出固定的形状和深度,可根据需求定制,解决了目前芯片尺寸受限的难题,正面可贴装较大尺寸芯片;本发明的背面预蚀提高了蚀刻精度,减少后续的蚀刻时间及难度,提高了封装效率,同时减少废铜的排放,保护环境的同时节省能源。