一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室

基本信息

申请号 CN200810073878.2 申请日 -
公开(公告)号 CN101403102B 公开(公告)日 2011-05-11
申请公布号 CN101403102B 申请公布日 2011-05-11
分类号 C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 宋宜梅;黄以平;李少林 申请(专利权)人 宿迁三鑫科技有限公司
代理机构 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 代理人 桂林实创真空数控设备有限公司;宿迁三鑫科技有限公司
地址 541003 广西壮族自治区桂林市大风山路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室,其特征是:它由过渡室箱体、设置在过渡室箱体内的两套以上的线性动密封装置、箱体两端的导向装置、真空抽气管管道、铅挡板、铅挡板支架和设置在过渡室箱体外的防护铅组成;线性动密封装置的上下密封压块压紧在密封压板上,形成真空密封的线性动密封通道;动密封装置之间设置有带铅板的上下错开的X射线防护铅挡板,真空过渡室外包有防护铅,真空抽气管与真空泵相连。本发明的优点是:能在带状金属材料连续通过的运行状态下,保证真空工作室的真空度/压力达到0.5-1Pa;进出口处X射线剂量达到安全剂量,真空泵的负荷较小,真空设备长期连续稳定地运行,加工设备工作效率高。