直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置

基本信息

申请号 CN202011062009.7 申请日 -
公开(公告)号 CN112051288A 公开(公告)日 2020-12-08
申请公布号 CN112051288A 申请公布日 2020-12-08
分类号 G01N23/203(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 张伟;邓伟;许佳佳;彭璟;樊申腾;张涛 申请(专利权)人 深圳市美信检测技术股份有限公司
代理机构 北京高沃律师事务所 代理人 深圳市美信检测技术股份有限公司
地址 518108广东省深圳市宝安区石岩街道松白公路北侧方正科技工业园研发楼1108室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置,涉及测试装置技术领域,主要结构包括包括底座、滑动臂、中间臂和前臂;所述滑动臂可滑动的设置于所述底座上,所述中间臂可转动的设置于所述滑动臂与所述前臂之间,直接电子探测器设置于所述前臂的前端。通过调整中间臂和前臂的角度以改变直接电子探测器的角度,通过滑动臂改变直接电子探测器的的水平方向的位置,从而能够实现方便、快捷、自动地在块体材料的EBSD和薄样品的TKD之间切换。使用DED相机,利用其没有光纤或透镜的优点,便于大角度切换其采集方向。