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一种等离子自动清洗设备

基本信息

申请号 CN202021356821.6 申请日 -
公开（公告）号 CN212633685U 公开（公告）日 2021-03-02
申请公布号 CN212633685U 申请公布日 2021-03-02
分类号 H01L21/67(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞 申请（专利权）人 苏州艾斯林自动化科技有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 董建林
地址 215316江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3232号3号房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种等离子自动清洗设备，属于半导体加工技术领域；其设备包括机架、设置在机架上的清洗机构、分设在清洗机构两侧外的送料装置、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置、与机架滑动连接的回料装置以及罩设在外周的罩壳，所述送料装置能够将物料板从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内；本实用新型提供了一种等离子自动清洗设备，能够实现送料、清洗、回料的自动化操作，提高清洗效率，降低人工作业量，降低人工成本，提高经济效益。