一种等离子清洗机推头
基本信息
| 申请号 | CN202021356290.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212760129U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212760129U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞 | 申请（专利权）人 | 苏州艾斯林自动化科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董建林 |
| 地址 | 215316江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3232号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种等离子清洗机推头，属于半导体加工技术领域；其包括推料导向板以及设置在导向板前方的推块，所述推块上设有卡料豁口，所述推料导向上设有弯曲的加强槽，所述加强槽的延伸方向与推料方向平行；本实用新型提供了一种等离子清洗机推头，能够保证结构强度，减少推料卡死和空载，提高运行稳定性，使用更方便。 |
