首页/ 苏州艾斯林自动化科技有限公司/ 专利详情

一种等离子清洗机压盖

基本信息

申请号 CN202021356822.0 申请日 -
公开（公告）号 CN213079472U 公开（公告）日 2021-04-30
申请公布号 CN213079472U 申请公布日 2021-04-30
分类号 B08B13/00;B08B7/00;H01L21/67;F16F15/067 分类 清洁;
发明人 郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞 申请（专利权）人 苏州艾斯林自动化科技有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 董建林
地址 215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3232号3号房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种等离子清洗机压盖，属于半导体加工技术领域；其包括与机架竖向滑动连接的转动座、与转动座转动铰接的转动支撑梁、设置在转动支撑梁上的盖壳以及能够限制转动支撑梁转动的，所述限位装置包括设置在转动座外侧的水平限位挂轴、设置在转动座外侧的掀盖限位挂轴以及与转动支撑梁转动连接的限位挂勾，所述盖壳转动至水平位置时，限位挂勾能够勾设在水平限位挂轴上，所述限位挂勾设在掀盖限位挂轴上时，盖壳的最外侧高于盖壳的最内侧；本实用新型提供了一种等离子清洗机压盖，能够在压盖掀起后对压盖进行限位固定，为操作人员提供了方便，确保了使用安全性。