一种等离子自动清洗设备及其工作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010661208.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111687144A | 公开（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申请公布号 | CN111687144A | 申请公布日 | 2020-09-22 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞 | 申请（专利权）人 | 苏州艾斯林自动化科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司 |
| 地址 | 215316江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3232号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种等离子自动清洗设备，属于半导体加工技术领域；其包括机架、设置在机架上的清洗机构、分设在清洗机构两侧外的送料装置、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置、与机架滑动连接的回料装置以及罩设在外周的罩壳，所述送料装置能够将物料板从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内；本发明提供了一种等离子自动清洗设备及其工作方法，能够实现送料、清洗、回料的自动化操作，提高清洗效率，降低人工作业量，降低人工成本，提高经济效益。 |
